Journal of Vacuum Science and Technology A に論文が掲載されました。
2021年05月27日
News
真空蒸着によるBaSi2薄膜作製において、Ba拡散とSiO蒸発が組成分布に及ぼす影響を明らかにした論文が、
Journal of Vacuum Science and Technology A に掲載されました。
第一著者は修了生の矢澤大典君です。
Daisuke Yazawa, Kosuke O. Hara, Junji Yamanaka, and Keisuke Arimoto
Investigations on Ba diffusion and SiO evaporation during BaSi2 film formation on Si substrates by thermal evaporation
Journal of Vacuum Science & Technology A 39, 043410 (2021)
